三氯氢硅SiHCl3

我要询价

又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米³ ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

别名：硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；Trichlorosilane、Silicochloroform．

用途：多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。

制法：

⑴在高温下Si和HCl反应

⑵用氢还原四氯化硅（采用含铝化合物的催化剂）

⑶用氢、硅粉、四氯化硅反应。

三氯氢硅SiHCl3

安全防护：

液体用玻璃瓶或金属桶盛装，容器要存放在室外阴凉干燥通风良好之处或在易燃液体专用库内，要与氧化剂、碱类、酸类隔开，远离火种、热源，避光，库温不宜超过25℃。可用氨水探漏。

火灾时可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁止用水及泡沫。废气可用水或碱液吸收。

三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。可用铁、镍、铜镍合金、镍钢、低合金钢，不能用铝、铝合金。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、氟橡胶、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。