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气体是AMOLED/LCD制造核心材料

2019-11-21 12:16:56

有源向量塑料薄膜三极管(TFT)显示器在二十世纪九十年代刚开始民用型至今,它已变成当代衣食住行必不可少的构成,其运用远不仅限于电视和智能机,它还存有于人们生活起居中的关键通讯和信息内容专用工具:腕表(智能穿戴设备)、家用电器、广告词、标识牌、小车等。文中关键探讨显示信息生产制造加工工艺块所必须的特种气体,并对各种各样汽体供货方式做好具体描述。


     TFT显示器生产制造与集成电路工艺生产制造层面有许多共同之处,例如:这二种生产制造全过程上都必须应用很多汽体、例如加工工艺流程中的堆积、刻蚀、清理和夹杂,也有别的流程应用的汽体种类也都较为类似。



显示系统层次

     现阶段销售市场上带二种显示器:有源向量液晶显示器(AMLCD)和AMOLED。AMLCD和AMOLED的显示器基础构件同样。显示系统有4层:滤色层、塑料薄膜三极管电源开关层(汽体适用于这一层)、用以操纵色调挑选的快门速度层、RGB(红绿蓝)色调过滤装置。


有关侧板/TFT

     显示器选用的塑料薄膜三极管为2D渐变色型三极管,类似FinFET以前的大宗商品CMOS。有源向量显示器每一清晰度有一个三极管,驱动器三极管内的一种RGB色调。随之显示器像素提升,三极管缩小,但不容易变小到半导体设备的亚μm级规格。比如,屏幕像素密度为325PPI的智能手环,其三极管尺寸约为2mm2,而80 PPI屏幕像素密度的4K电视机,三极管尺寸约为8mm2。


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侧板种类

      显示器的塑料薄膜三极管机器设备关键有三种:非晶硅(a-Si)、超低温光伏电池(LTPS)和氢氧化物(MO),也称之为全透明非晶金属氧化物半导体材料(TAOS)。AMLCD控制面板应用a-Si一般是用以低分辨率显示器和电视,而高像素显示器选用LTPS三极管,但是因为成本费较高、扩展性受到限制,一般用以大中小型显示器。AMOLED控制面板应用LTPS和MO三极管,在其中MO机器设备一般用以电视和大中型显示器。工业氢气



汽体的应用方法

      因为技术性变化,对比AMLCD控制面板,出产AMOLED控制面板需要应用的汽体还要产生变化。如图示,现阶段出产显示器时选用多种多样汽体。

     这种汽体可分成两大类:电子器件特种气体(ESG)和电子器件大宗商品汽体(EBG)。电子器件特种气体包含硅烷、三氟化氮、氟(当场造成)、六氟化硫二氧化氮及其磷化氢化合物,占显示器生产制造中应用汽体的52%,而电子器件大宗商品汽体包含N2、氡气、氦气、co2、二氧化碳和氩气,占显示器生产制造中应用汽体的48%。

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技术性发展趋势

     TFT-LCD(塑料薄膜三极管液晶显示器)是一种基本技术性。大屏使用MO/白色OLED(有机发光二极管)。中小屏使用LTPS / AMOLED。OLED面临的难点是<1微米粒子对产率的影响,此外由于掩码步骤增加,其成本远高于非晶硅(a-Si)。此外,OLED步骤中水分对生产良率具有影响。工业气体

     迁移率极限是改用MO和LTPS的主要原因之一,其目的是通过更高的分辨率,实现更好的观看体验等。

MO面临的挑战在于OLED步骤后,如何避免IGZO金属化/潮湿造成的氧化,后者将导致产率下降。制造过程中需使用大量的N2O(氧化亚氮),这意味着可能需要考虑改变传统供应模式。

     虽然AMLCD显示屏目前仍是市场主流,但AMOLED显示屏增长迅速。目前约有25%的智能手机采用AMOLED显示屏,预计这一比例到2021年将达到约40%。OLED电视同样增长迅速,同比增长率达到两位数。根据IHS数据,在未来5年,AMOLED显示屏面板的收入预计年均复合增长率(CAGR)将达到18.9%,而AMLCD显示屏的收入同期CAGR为2.8%,所有显示屏总收入同期CAGR为2.5%。随着AMOLED显示屏快速增长,显示屏制造商加快了AMOLED制造设备的投资。


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